capacitively coupled microwave plasma oor Frans
capacitively coupled microwave plasma
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plasma micro-onde
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The system may use a coaxial microwave antenna inside a processing chamber, with the antenna being movable between a substrate and a plasma source, such as a sputtering target, a planar capacitively generated plasma source, or an inductively coupled source.
La proportion de la valeur des pénalités du RSAP imposées aux clients PAD par rapport à l’ensemble des pénalités du RSAP est de 1 % pour les importateurs PAD et de 38 % pour les transporteurs PAD.patents-wipo patents-wipo
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