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본 발명에 따른 기판 분리 방법은, 기판을 준비하고, 상기 기판 상에 희생층을 형성하고, 상기 희생층 상에 마스킹 영역과 오프닝 영역을 갖는 마스크 패턴을 형성하고, 상기 희생층을 부분적으로 식각하여 상기 희생층 내에 미세 공동을 형성하고, 상기 희생층 상에 상기 마스크 패턴을 덮는 에피층을 형성하고; 상기 기판을 상기 에피층으로부터 분리하는 것을 포함하고, 상기 마스크 패턴의 마스킹 영역은 제1 마스킹부 및 제2 마스킹부를 포함하며, 상기 제1 마스킹부 및 제2 마스킹부는 서로 다른 물질을 포함할 수 있다.KDE40.1 KDE40.1