The present invention relates to a plasma reactor for treating exhaust gas generated form a processing facility, and more specifically, to a plasma reactor arranged between a process chamber and a vacuum pump so as to dissolve exhaust gas discharged from the process chamber, comprising: a tube made from a dielectric through which the exhaust gas flows; a first electrode portion which is installed on the tube and is shielded from the inner space of the tube; and a second electrode portion, which is arranged apart from the first electrode portion, for dissolving the exhaust gas by causing plasma electric discharge, wherein the thickness of the tube is formed so that an area where the plasma discharge is concentrated is thicker than the thickness of surrounding areas, so as to prevent damage to the tube due to the plasma electric discharge.
본 발명은 일 구현예로서, 부피비로 (H2O+CO2/CH4)가 3 이하인 혼합가스를 개질하여 수소와 일산화탄소를 주성분으로 포함하는 환원가스를 제조하는데 적합한 촉매에 관한 것으로서, 담체 상에 니켈 및 선택적으로 조촉매가 담지되며, 상기 담체는 알루미나(Al2O3)와 마그네시아(MgO)의 반응에 의한 MgAl2O4의 스피넬 구조를 갖는 것인 환원가스 제조용 메탄 개질 촉매를 제공하며, 다른 구현예로서, 상기 촉매 제조방법, 상기 촉매를 이용한 환원가스 제조방법 및 상기 촉매가 담지된 환원가스 개질 반응기를 포함하는 개질촉매 반응 공정 및 설비를 제공한다.patents-wipo patents-wipo