“Lately, some of the boys at school have been asking me out or to be their girlfriend.”—Becky, 11 years old.
본 발명의 일 실시예에 따른 이차 전지용 음극 활물질의 제조 장치는, 특정 주파수 범위의 전자파를 발진하는 전자파 발진기; 상기 전자파 및 플라즈마 발생가스로부터 플라즈마를 발생시키는방전관; 상기 방전관의 내부로 상기 플라즈마 발생가스를 공급하는 제 1 가스 공급부; 상기 방전관의 내부에서 발생된 플라즈마에 실리콘 전구체를 공급하는 실리콘 공급부; 상기 실리콘 전구체 및 반응 가스 간의 화학 반응에 의하여 SiOx계(0jw2019 jw2019