The method for controlling the Wien filter for the scanning electron microscope is used for a scanning electron microscope which detects electrons by passing them through the Wien filter and making same enter a detector, wherein the electrons are emitted after electronic beams generated from a light source enter a sample through the Wien filter.
๋ณธ ๋ฐ๋ช
์ ์ฃผ์ฌ์ ์ํ๋ฏธ๊ฒฝ์ฉ ๋นํํฐ ์ ์ด๋ฐฉ๋ฒ์ ๊ดํ ๊ฒ์ผ๋ก์, ๋ณธ ๋ฐ๋ช
์ ๋ฐ๋ฅธ ์ฃผ์ฌ์ ์ํ๋ฏธ๊ฒฝ์ฉ ๋นํํฐ ์ ์ด๋ฐฉ๋ฒ์ ๊ด์์ค๋ก๋ถํฐ ์์ฑ๋๋ ์ ์๋น์ด ๋นํํฐ๋ฅผ ํต๊ณผํ์ฌ ์๋ฃ์ ์
์ฌ๋ ํ ๋ฐฉ์ถ๋๋ ๋ฐฉ์ถ์ ์๋ฅผ ๋นํํฐ์ ํต๊ณผ์์ผ ๋ํ
ํฐ์ ์
์ฌ์ํด์ผ๋ก์จ ๊ฒ์ถํ๋ ์ฃผ์ฌ์ ์ ํ๋ฏธ๊ฒฝ์ ์ด์ฉ๋๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก์, ์๊ธฐ ๋นํํฐ๋ฅผ ํต๊ณผํ ์ ์๋น์ด ์๊ธฐ ์๋ฃ์ ๋ชฉํ์ ์ ๋๋ฌ๋๋๋ก ํ๋ ๋์์ ์๊ธฐ ์๋ฃ๋ก๋ถํฐ ๋ฐฉ์ถ๋์ด ์๊ธฐ ๋นํํฐ๋ฅผ ํต๊ณผํ๋ ๋ฐฉ์ถ์ ์๊ฐ ์๊ธฐ ๋ํ
ํฐ์ ๋๋ฌ๋๋๋ก ํ๊ธฐ ์ํ์ฌ ์๊ธฐ ๋นํํฐ์ ์ธ๊ฐ๋์ด์ผ ํ๋ ์ต์ข
์ ๊ธฐ์ฅ ๋ฐ ์ต์ข
์๊ธฐ์ฅ์ ์ฐ์ถํ๋ ์ฐ์ถ๋จ๊ณ; ์๊ธฐ ์ต์ข
์ ๊ธฐ์ฅ ๋ฐ ์๊ธฐ ์ต์ข
์๊ธฐ์ฅ์ ์๊ธฐ ๋นํํฐ์ ์ธ๊ฐํ๋ ์ธ๊ฐ๋จ๊ณ;๋ฅผ ํฌํจํ๋ ๊ฒ์ ํน์ง์ผ๋ก ํ๋ค.patents-wipo patents-wipo