If the press was long and narrow, like a trough, it was called pu·rahʹ.
본 발명은 웨이퍼의 정렬을 위해 오리엔터 및 웨이퍼 척에 의해 웨이퍼가 회전되는 동안 웨이퍼 배면의 오염물질 검지가 가능하도록 웨이퍼 척과 이웃하여 웨이퍼 정렬 배면 검사장치를 구성함으로써, 공정챔버 투입전 오염된 웨이퍼의 검출 및 제거가 가능하도록 하여 오염된 웨이퍼의 투입으로 인해 프로세서 챔버와 웨이퍼의 소손 및 공정 진행의 차질을 미연에 방지함과 아울러, 웨이퍼 배면의 오염물질 검출과 정렬을 동시에 수행하도록 함으로써 공정의 신뢰도 및 생산성을 향상시키도록 한 웨이퍼 정렬 배면 검사장치에 관한 것이다.jw2019 jw2019