La présente invention concerne un microscope à forces atomiques (AFM) (10) combinant un actionneur de position AFM Z (16) et une console à actionnement de position Z autonome (les deux étant opérables en mode cyclique et en mode contact), avec des circuits appropriés de contrôle de rétroaction emboîtés permettant d'effectuer une imagerie à grande vitesse et des mesures de position Z précises.
An AFM (10) that combines an AFM Z position actuator (16) and a self-actuated Z-position cantilever (20) (both operable in cyclical mode and contact mode), with appropriate nested feedback control circuitry to achieve high-speed imaging and accurate Z-position measurements.patents-wipo patents-wipo