본 발명은 각 면이 서로 대향하도록 배치되는 복수개의 기판들이 안치되는 내부 공간을 정의하는 챔버; 상기 내부 공간으로 탄소를 포함하는 가스를 공급하는 가스 공급부; 복사열을 상기 내부 공간으로 조사하는 주 가열부; 상기 주 가열부에 대응하여 상기 기판의 일면과 대향하도록 배치되고, 상기 복사열을 대류열로 전환하여 상기 내부 공간으로 방출하는 제1 보조 가열부; 및 상기 복수개의 기판들의 사이 사이에 상기 기판의 적어도 하나의 면과 대향하도록 배치되고, 상기 복사열 및 상기 대류열을 흡수하여 가열된 후 열을 상기 내부 공간으로 방출하는 복수개의 제2 보조 가열부들; 를 포함하는, 그래핀 합성 장치를 개시한다.
The present invention discloses a graphene synthesis apparatus, comprising: a chamber having inner spaces wherein a plurality of substrates having surfaces arranged to face each other are loaded; a gas supply unit for supplying, to the inner spaces, gas containing carbon; a main heating unit for irradiating, to the inner spaces, radiant heat; a first auxiliary heating unit arrangedto face one surface of the substrates corresponding to the main heating unit, converting the radiant heat to convection heat, and emitting the converted convection heat into the inner spaces; and a plurality of second auxiliary heating units arranged to face at least one surface of the substrate among the plurality of substrates, heated by absorbing the radiant heat and the convection heat, and emitting the heat into the inner spaces.patents-wipo patents-wipo