상기와 같이 이루어지는 본 발명의 삼염화실란가스 제조용 반응장치는, 사염화실란가스와 수소가스의 혼합이 매우 균일하게 이루어짐은 물론 특히 열전달 효율이 뛰어나 전체적인 작동 효율이 높고 운전비용이 저렴하며, 사염화실란가스와 수소가스가 혼합된 혼합가스에 대한 발열체의 상대온도를 최소화 할 수 있어 발열체에 대한 수소가스의 부반응이 발생하지 않아 순도가 높은 삼염화실란을 제조할 수 있다.
The reaction apparatus of the present invention minimizes the temperature of the heater relative to the mixture gas of the silicon tetrachloride gas and the hydrogen gas to prevent a side reaction of the hydrogen gas with the heater, thereby producing high purity trichlorosilane gas.patents-wipo patents-wipo