증착 oor Engels

증착

Vertalings in die woordeboek Koreaans - Engels

deposition

naamwoord

transformation of gas into solid

본 발명은 화학기상 순환반복 증착법을 이용하여 박막 태양전지를 제조하는 방법을 개시하고 있다.
A method for manufacturing a thin-film solar cell by using a chemical vapor repetitive cycle deposition is disclosed.

Soortgelyke frases

蒸着
deposition

voorbeelde

모노머 증착장치
Monomer deposition apparatus

폴리실리콘 제조용 화학기상증착 반응기
Chemical vapor deposition reactor for preparation of polysilicon

본 발명에서 제공하는 원자층 증착 장비 크기가 작으면서도 쓰루풋이 높은 원자층 증착 장치 및 방법을 제공한다. 또한, 기체를 투과시키는 재질로 구성된 기판에 원자층을 증착할 수 있는 원자층 증착 장치 및 방법을 제공한다.
The present invention provides an atomic layer deposition apparatus and a method, wherein the atomic layer deposition apparatus is small and has a high throughput.

박막 증착 장치는 챔버와, 서셉터와, 소스가스 공급부, 및 서셉터 지지대를 포함한다. 챔버는 증착 공정이 행해지는 내부 공간을 갖는다.
Provided is a thin film deposition apparatus which comprises a chamber, a susceptor, a source gas supply part, and a susceptor support.

화학기상 순환반복 증착법을 이용한 박막 태양전지의 제조방법
Method for manufacturing thin-film solar cell by using chemical vapor repetitive cycle deposition

본 발명은 복수의 기판이 장착된 위치에 따라 온도 편차를 가지는 것을 방지할 수 있도록 하고, 기판의 영역별 프로세스 가스 농도 변화를 보정할 수 있도록 함으로써 기판의 전체에 대한 증착 특성의 변화를 최소화하도록 하며, 복수의 기판을 정해진 온도까지 승온시키는데 소요되는 시간을 줄여서 생산성을 향상시키고, 기판이 경사지게 놓이도록 하여 진동이나 흔들림 등에도 불구하고 안정적인 배치를 유지하기 위하여, 챔버; 상기 챔버 내에 프로세스 가스를 분사하도록 설치되는 샤워헤드; 상기 챔버 내에 복수개가 나란하도록 수직되게 설치되는 플레이트 히터; 및 상기 플레이트 히터마다 한 쌍의 기판이 일정 각도로 기울어지게 설치되도록 상기 기판을 지지하는 복수의 기판지지부를 포함하는 수직형 플레이트 히터를 이용한 복수 기판 증착 장치가 제공된다.
According to the present invention, temperature deviations, depending on the positions where the plurality of substrates are mounted, can be prevented, and changes in deposition characteristics with respect to all of the substrates can be minimized because changes in process gas concentrations can be compensated in each area of the substrate.

도장 공정과 연계 가능한 인라인 진공증착 시스템 및 이를 이용한 증착 방법
In-line vacuum deposition system which is connectable to a coating process, and deposition method using same

기술의 세세한 부분에의해 더 많은 카테고리로 나누어질 수 있는데 예를 들어 저압화학기상증착(LPCVD)이나 PECVD(Plasma Enhanced chemical vapor deposition)이 있다.
This can be further divided into categories depending on the details of the technique, for example, LPCVD (Low Pressure chemical vapor deposition) and PECVD (Plasma-enhanced chemical vapor deposition).

그래핀을 전기영동법으로 증착시켜 제조하는 상대전극의 제조방법, 그 방법에 의하여 제조된 상대전극 및 이를 포함하는 염료감응형 태양전지
Method for manufacturing counter electrodes by depositing graphene via electrophoresis, counter electrodes manufactured using the method, and dye-sensitized solar cell having same

본 발명은 하나의 공정 공간 내에서 박막 증착 공정과 박막의 표면 처리 공정을 순차적으로 또는 반복적으로 수행할 수 있도록 한 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는 공정 공간을 제공하는 공정 챔버; 상기 공정 챔버의 내부에 설치되어 적어도 하나의 기판을 지지하고 지지된 기판을 소정 방향으로 이동시키는 기판 지지부; 상기 기판 지지부에 대향되도록 상기 공정 챔버의 상부를 덮는 챔버 리드; 및 상기 기판 지지부에 대향되도록 상기 챔버 리드에 설치되고, 상기 기판에 박막을 증착하기 위한 공정 가스와 상기 박막의 표면 처리를 위한 표면 처리 가스를 공간적으로 분리하여 상기 기판 지지부 상에 국부적으로 분사하는 가스 분사부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
The present invention relates to an apparatus for treating a substrate and a method for treating a substrate, wherein a thin film deposition process and a thin film surface treatment process can be carried out sequentially or repeatedly in one processing space.

스캔형 반응기를 가지는 원자층 증착 장치 및 방법
Atomic layer deposition device having scan-type reactor and method therefor

진공장비를 이용한 그라데이션 증착방법
Method for gradational deposition using vacuum device

본 발명은 자외선 영역에서 투과도가 뛰어나 물질(예컨대, Ga2O3)과 전기전도도가 뛰어난 물질(예컨대, ITO)을 함께 스퍼터링하여 단일층의 투명 전극을 형성함으로써, 각각의 물질 단독으로 투명 전극을 형성하거나, 각각의 물질은 순차적으로 증착하여 2개의 층으로 투명 전극을 형성하는 경우보다, 자외선 영역에서의 광투과도 및 전기전도도가 모두 뛰어난 투명전극을 형성할 수 있다.
According to the present invention, a material (for example, Ga2O3) having excellent transmittance is sputtered with a material (for example, ITO) having excellent electric conductivity in an ultraviolet area to form a single transparent electrode layer.

면도기 면도날의 박막 증착 방법
Film deposition method for razor blade

본 발명의 실시예에 따른 화학 기상 증착 장치는, 웨이퍼가 안착되는 적어도 하나의 포켓이 형성된 서셉터를 구비하는 챔버 본체; 상기 챔버 본체에 개폐 가능하도록 구비되며, 상기 서셉터와의 사이에 반응공간을 형성하는 챔버 덮개; 상기 서셉터 상에 반응가스가 흐르도록 상기 반응공간으로 상기 반응가스를 공급하는 반응가스 공급부; 및 상기 서셉터와 상기 챔버 덮개 사이에서 상기 챔버 덮개의 표면을 따라서 비반응가스가 흐르도록 상기 반응공간으로 상기 비반응가스를 공급하여 상기 반응가스가 상기 챔버 덮개의 표면과 접촉하는 것을 차단하는 비반응가스 공급부;를 포함한다.
Provided are a chemical vapor deposition apparatus and a method for manufacturing light-emitting devices using the same.

산화아연 나노로드, 금속 수송 증착법을 이용한 산화아연 나노로드 제조 방법 및 장치, 그 산화아연 나노로드를 이용한 전계 발광 디스플레이 나노로드 제조 방법
Zinc oxide nanorod, method and apparatus for manufacturing a zinc oxide nanorod using metal transfer deposition, and electroluminescent display nanorod using the zinc oxide nanorod

본 발명은 단결정 박막 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 단결정 박막에 관한 것으로, (a) 기판을 패터닝 하는 단계; (b) 상기 패터닝된 기판상에 금속을 증착하여 박막을 형성하는 단계; (c) 상기 금속 박막이 형성된 기판을 열처리 하여 패터닝된 금속 실리사이드 층을 형성하는 단계; 및 (d) 상기 패터닝된 금속 실리사이드 층에 단결정 층을 성장시키는 단계를 포함한다.
The present invention relates to a method for preparing a single crystal thin film and the single crystal thin film prepared by the method.

본 발명의 폴 타입 안테나가 포함된 이온빔 소스의 위치제어를 이용한 이온 처리 장치는 폴 타입 안테나가 내장된 플라즈마 챔버에 반응가스를 주입하여 플라즈마를 생성하고, 생성된 상기 플라즈마를 통해 이온빔을 추출 및 가속하는 이온빔 소스와 상기 이온빔 소스에서 방출되는 상기 이온빔을 충돌하기 위한 이온빔 타겟과 상기 이온빔 타겟에서 충돌되어 생성되는 스퍼터 원자가 증착되기 위한 가공물과 상기 가공물을 진공 챔버 내에 고정하고, 지지하기 위한 가공물 고정부 및 상기 이온빔 소스에서 생성되는 상기 이온빔의 방출각을 상기 이온빔 타겟으로 향하도록 하는 것을 제어하기 위해 상기 이온빔 소스의 일측에 구비되는 이온빔 소스 구동부를 포함함에 기술적 의의가 있다.
The present invention relates to an ion treatment apparatus using the control of the position of an ion beam source including a pole-type antenna.

화학기상 증착법에 의한 박막 증착시 원료가 되는 소스물질을 가스화하여 증착챔버 내로 공급하는 소스가스 공급장치가 개시된다.
Disclosed is a source gas supply apparatus for gasifying source materials which are used as raw materials for thin film deposition by chemical vapor deposition, and supplying the gas into a deposition chamber.

이에 따른 발광 다이오드 소자 제조방법은, (a) 기판상에 나노 구조체를 도포하는 단계; (b) 나노 구조체가 도포된 기판상에 기판 굴절률보다 작은 굴절률 값을 갖는 산화막을 증착하는 단계; (c) 산화막 증착 후 도포된 나노 구조체를 제거하여 기판에 나노 패터닝된 산화막을 형성하는 단계;를 포함하여 이루어진다.
The method for manufacturing a light-emitting diode element according to the present invention includes: (a) a step of applying nano structures onto a substrate; (b) a step of depositing an oxide film, which has a refractive index value smaller than a substrate refractive index, onto the substrate to which the nano structures are applied; and (c) a step of forming a nano-patterned oxide film on the substrate by removing the applied nano structures after the oxide film deposition.

폴리에스테르계 증착필름
Polyester-based deposition film

본 발명은 누설 전류를 감소시킬 수 있는 유기 발광 소자에 대한 것으로, 보다 구체적으로는 쉐도우 마스크를 통하여 증착된 하부 전극의 누설 전류를 감소시키기 위하여, 하부 전극의 평탄화 공정을 수행함으로써, 누설 전류를 감소시킬 수 있는 유기 발광 소자의 제조 방법 및 이를 이용한 유기 발광 소자에 관한 것이다.
The present inventions relates to an organic light emitting device capable of decreasing a leakage current, and more particularly, to an organic light emitting device manufacturing method and an organic light emitting device using the same, which can decrease a leakage current, by flattening a lower electrode in order to decrease a leakage current of the lower electrode deposited through a shadow mask.

본 발명은 엘이디(LED) 금속기판 패키지에 관한 것으로, 특히 방열 구조를 갖는 엘이디 금속기판 패키지 및 그 제조방법에 관한 것으로, 하나 이상의 수직 절연층에 의해 전기적으로 분리되는 금속 기판의 소정 깊이에 이르는 요홈으로 이루어지되, 바닥에 하나의 수직 절연층을 내포하는 하나 이상의 캐비티를 형성하는 단계와; 각 캐비티내에 형성된 금속 기판 상부의 일부면을 제외한 모든 면을 쉐도우 마스킹 처리하는 단계와; 마스킹 처리되지 않은 상기 일부면에 형성된 산화막을 제거하는 단계와; 산화막 제거된 상기 일부면 각각에 전극층을 증착하는 단계와; 상기 쉐도우 마스크를 제거하는 단계와; 상기 전극층 상에 Au/Sn 솔더링하여 광소자 칩을 접합하는 단계와; 상기 수직 절연층 각각을 기준으로 일측 금속 기판상에 위치하는 상기 광소자의 일 전극을 와이어를 통해 상기 수직 절연층 각각의 타측에 위치하는 금속 기판과 와이어 본딩하는 단계;를 적어도 포함한다.
The present invention relates to an LED metal substrate package, and particularly, to an LED metal substrate package having a heat dissipating structure, and a method of manufacturing same.

본 발명은 열수축 특성을 갖는 폴리에스테르계 필름층을 포함하는 증착필름과 이를 유리 병에 부착되는 종이재의 라벨을 대체할 수 있는 필름재의 라벨로 적용하는 용도에 관한 것으로서, 열수축성 폴리에스테르계 필름 기재, 기재 상의, 금속증착층, 금속증착층 상의 인쇄층을 포함하며 특정의 강성을 만족하는 폴리에스테르계 증착필름과 이를 포함하는 라벨이 부착된 병을 개시한다.
Disclosed are a polyester-based deposition film which satisfies specific strength requirements and a bottle having a label that contains the film and that is attached onto the bottle.

본 발명은 횡방향 헤어라인이 구현된 인테리어 필름을 제공하는 것으로, 더욱 상세히는, 투명플라스틱 필름층(30); 상기 투명플라스틱 필름층(30) 하부에 형성된 횡방향 헤어라인이 구현된 UV 임프린팅층(50); 상기 UV 임프린팅층 하부에 형성된 금속증착층(70); 을 포함하는 횡방향 헤어라인이 구현된 인테리어 필름(F)을 제공한다.
The present invention provides an interior film having a transverse hairline implemented therein and, more specifically, provides an interior film (F) having a transverse hairline implemented therein, comprising: a transparent plastic film layer (30); an UV imprinting layer (50) which has a transverse hairline implemented therein and is formed below the transparent plastic film layer (30); and a metal deposition layer (70) formed below the UV imprinting layer.