본 발명은 기판을 마련하는 과정, 작용기로 CxHy(여기서, 1≤x≤9, 4≤y≤20, Y>2X)를 가지는 유기 실란을 포함하는 원료물질을 준비하는 과정, 상기 원료물질을 기상화하는 과정, 상기 기판을 챔버 내로 로딩하는 과정 및 상기 챔버 내로 상기 기상화된 원료물질을 공급하는 과정을 포함한다.
The present invention includes the steps of: preparing a substrate; preparing a raw material including organic silane having CxHy (here, 1≤x≤9, 4≤y≤20, Y>2X) as a functional group; vaporizing the raw material; loading the substrate to the inside of a chamber; and supplying the vaporized raw material into the chamber.patents-wipo patents-wipo