Metadata
Author: ParaCrawl Corpus
Data
English[en]
Abstract: This thesis focuses on atomic layer deposition (ALD) and presents results divided between two parts.
Finnish[fi]
Pyymäki Perros, Tässä väitöskirjassa käsiteltiin atomikerroskasvatusta (engl. ALD) ja sen tulokset esitetään jaettuna kahteen osaan.