Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Gegenüber dem RTD wurden bei RTO-präparierten Cz-Si-Wafern jedoch geringe, aber wichtige Steigerungen der Effizienz beobachtet.
English[en]
However, in contrast to RTD, small but important gains in efficiency were observed in Cz-Si wafers prepared with RTO.
Spanish[es]
No obstante, a diferencia de la RTD, se observaron algunas mejoras importantes aunque pequeñas en cuanto a la eficiencia de las planchas de Cz-Si preparadas con RTO.
French[fr]
Contrairement au RTD, une légère (mais néanmoins importante) augmentation du rendement a été observée dans les tranches Cz-Si préparées avec le RTO.
Italian[it]
Tuttavia, rispetto all'RTD, sono stati osservati piccoli ma significativi guadagni d'efficienza nei wafer Cz-Si preparati con l'RTO.