Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The inventive composition facilitates this through making it possible to skip 5 processes, such as Cr metal deposition forming a metal film, and the photo/etch/PR strip/etch steps of the whole surface of the metal, by substituting the inventive composition for the usual metal film, such that N? +¿ ion doping in production of a TFT-LCD can take place due its high heat resistance.
French[fr]
A cet effet, la composition selon l'invention permet de sauter cinq processus, tels que le dépôt de chrome, afin de former un film métallique et les étapes de photogravure/gravure/décapage de la totalité de la surface du métal en remplaçant le film métallique classique par la composition selon l'invention, de sorte qu'un dopage par implantation d'ions N+ peut être réalisé pendant la production d'un écran à matrice active en raison de la résistance élevée à la chaleur de ladite composition.