Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
In a planar view, the length in the direction of extension of the grooves is greater than the width of the grooves, and the width of the grooves is greater than the spacing between adjacent grooves.
French[fr]
Dans une vue en plan, la longueur dans la direction d'étendue des rainures est supérieure à la largeur des rainures, et la largeur des rainures est supérieure à l'écartement entre des rainures adjacentes.
Japanese[ja]
第1導電型の第1半導体領域と、第1半導体領域の上に配置された第2導電型の第2半導体領域と第2半導体領域の上に配置された第1導電型の第3半導体領域と、第3半導体領域の上に配置された第2導電型の第4半導体領域と、第4半導体領域の上面から延伸して第4半導体領域及び第3半導体領域を貫通して第2半導体領域まで達する溝の内壁上に配置された絶縁膜と、溝の側面において絶縁膜上に配置され、第3半導体領域に対向する制御電極と、第1半導体領域と電気的に接続する第1の主電極と、第4半導体領域と電気的に接続する第2の主電極と、溝の底面において絶縁膜の上に配置され、且つ制御電極と離間して配置された底面電極とを備え、平面視において溝の延伸する方向の長さは溝の幅よりも大きく、且つ、互いに隣接する前記溝の間隔よりも前記溝の幅が広い。