Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The control section calculates an edge characteristic curve by taking moving average with a specified moving average width for an edge profile where edges on the pattern within the measurement areas are shown with positional coordinates of measurement points at specified intervals and specifies a position of a peak value on the edge characteristic curve as an edge position on the pattern within the measurement areas.
French[fr]
La section de commande calcule une courbe caractéristique de bord par réalisation de la moyenne mobile avec une largeur moyenne mobile spécifiée pour un profil de bord, les bords sur le motif à l'intérieur des zones de mesure étant représentés avec des coordonnées de position de points de mesure à des intervalles spécifiés, et spécifie une position d'une valeur de pic sur la courbe caractéristique de bord en tant que position de bord sur le motif dans les zones de mesure.
Japanese[ja]
パターン測長装置は、電子ビームを試料上に走査しながら照射する電子ビーム照射部と、電子ビームの照射によって、パターンが形成された試料上から発生する電子の電子量を基に当該パターンの画像を取得する画像データ取得部と、パターンの画像のエッジを含む一対の測定領域を設定する測定対象領域設定部と、測定領域内のパターンのエッジ形状を検出し、一対の測定領域内のパターンのエッジ間の距離を算出する制御部とを有する。 制御部は、測定領域内のパターンのエッジが所定の間隔の測定点の位置座標で示されたエッジプロファイルを所定の移動平均幅で移動平均してエッジ特性曲線を算出し、エッジ特性曲線のピーク値の位置を測定領域内におけるパターンのエッジ位置とする。