Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A semiconductor fault analysis device and method are thus achieved that are capable of alleviating the effect of image capture location drift in thermal analysis images of semiconductor devices.
French[fr]
L'invention propose ainsi un dispositif et un procédé d'analyse de défaut de semi-conducteur pouvant atténuer l'effet de dérive d'emplacement de capture d'image dans les images d'analyse thermique de dispositifs semi-conducteurs.
Japanese[ja]
これにより、半導体デバイスの発熱解析画像における撮像位置ずれの影響を抑制することが可能な半導体故障解析装置及び方法が実現される。