Metadata
Author: WikiMatrix
Data
English[en]
The term MEMS, for Micro Electro Mechanical Systems, was coined in the 1980s to describe new, sophisticated mechanical systems on a chip, such as micro electric motors, resonators, gears, and so on.
Indonesian[id]
Sistem mikro elektromekanikal atau MEMS (Micro Electro Mechanical System), pertama kali disebut pada tahun 1980 untuk menjelaskan sistem mekanikal terbaru dan canggih pada chip, seperti motor mikroelektrik, resonator, roda gigi, dan sebagainya.