Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Disclosed is a mounting table structure for mounting an object to be processed that is disposed in a processing container capable of discharging gas.
French[fr]
La présente invention a trait à une structure de table de montage permettant de monter un objet devant être traité qui est disposée dans un récipient de traitement conçu pour évacuer les gaz.
Japanese[ja]
排気可能になされた処理容器内に設けられて処理すべき被処理体を載置するための載置台構造において、前記被処理体を載置するための、少なくとも加熱手段が設けられた誘電体よりなる載置台と、前記載置台を支持するために前記処理容器の底部側より起立させて設けられると共に、上端部が前記載置台の下面に連結され、内部に長さ方向に沿って形成された複数の貫通孔を有する誘電体よりなる支柱と、を備えたことを特徴とする載置台構造である。