Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The present invention relates to an autoclave device that drives a plate using air, and to a driving method using said device and, more particularly, to an autoclave device that drives a plate using air and to a driving method using said device in which air is allowed to flow into an air groove of a packing which is inserted into the plate so as to press against a substrate when the plate on which the substrate to be pressed is accommodated is driven.
French[fr]
La présente invention concerne un dispositif d'autoclave qui entraîne une plaque en utilisant de l'air, et un procédé d'entraînement employant ledit dispositif et, plus particulièrement, un dispositif d'autoclave qui entraîne une plaque en utilisant de l'air, et un procédé d'entraînement employant ledit dispositif, selon lesquels on laisse de l'air s'écouler dans un sillon d'air d'une garniture qui est insérée dans la plaque de façon à la presser contre un substrat lorsque la plaque sur laquelle le substrat à presser est reçu est entraînée.
Korean[ko]
본 발명은 에어를 이용하여 플레이트를 구동시키는 오토클레이브장치 및 그 장치를 이용한 구동방법에 관한 것으로서, 가압하려는 기판을 안착한 플레이트의 구동 시 상기 플레이트에 끼움 된 패킹의 에어 홈으로 에어를 유입시켜 상기 기판에 대해 가압하는 오토클레이브장치 및 그 장치를 이용한 구동방법에 관한 것으로서, 기판이 안착되는 플레이트의 상측 외주에 형성된 끼움 홈에 패킹을 끼움 하되 상기 패킹의 하부가 개방되어 있어 에어 홈을 형성시키게 되고, 상기 에어 홈으로 에어가 주입되어 상기 플레이트를 하강시키도록 하여 플레이트에 안착된 기판을 가압할 수 있는 에어를 이용하여 플레이트를 구동시키는 오토클레이브장치 및 그 장치를 이용한 구동방법을 제공함에 주안점을 두어 가압하려는 기판이 안착된 플레이트를 밀 착 시 상기 플레이트를 상승, 하강시키는 구동부가 필요하지 않아 그 구조와 구성을 간단히 하였으며, 그로 인해 상기 플레이트에 가해지는 내구성을 장기간 유지시킬 수 있게 되어 오토클레이브장치에 대한 수명을 연장할 수 있는 에어를 이용하여 플레이트를 구동시키는 오토클레이브장치 및 그 장치를 이용한 구동방법이라 하겠다.