Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The computer inserts an energy-selecting slit into the beam path and begins monitoring the position of the electron beam through a combination of the current sensors integral to the slit and the readout of an electron camera.
French[fr]
L'ordinateur commande l'insertion d'une fente sélectrice d'énergies sur la trajectoire du faisceau puis commence à observer la position du faisceau d'électrons à l'aide d'un ensemble de détecteurs intégrés à la fente et des indications d'une caméra électronique.