Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
One method of obtaining an initial adjusted mass flow controller valve start position comprises obtaining a mass flow controller delay period and setting a mass flow controller valve to an initial valve opening position that is less than an expected optimal valve opening position.
French[fr]
Un procédé selon l'invention servant à obtenir une position de départ d'une vanne de régulateur de débit massique consiste à obtenir une période de retard du régulateur de débit massique et à régler une vanne du régulateur de débit massique sur une position d'ouverture de vanne initiale qui est inférieure à une position d'ouverture de vanne optimale attendue.