Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A polishing pad having at least a polishing layer, wherein: a groove having side surfaces is disposed on the polishing surface of the polishing layer; at least one of the side surfaces is configured from a first side surface continuing from the polishing surface and forming an angle (α) with the polishing surface and a second side surface continuing from the first side surface and forming an angle (β) with a plane that is parallel to the polishing surface; the angle (α) formed with the polishing surface is greater than 95 degrees; the angle (β) formed with the plane that is parallel to the polishing surface is greater than 95 degrees and is smaller than the angle (α) formed with the polishing surface; and the folding point depth from the polishing surface to the folding point between the first side surface and the second side surface is greater than 0.2 mm and is 3.0 mm or less.
French[fr]
Une rainure ayant des surfaces latérales est disposée sur la surface de polissage de la couche de polissage ; au moins une des surfaces latérales est constituée d'une première surface latérale poursuivant la surface de polissage et formant un angle (α) avec la surface de polissage et d'une seconde surface latérale poursuivant la première surface latérale et formant un angle (β) avec un plan qui est parallèle à la surface de polissage ; l'angle (α) formé avec la surface de polissage est supérieur à 95 degrés ; l'angle (β) formé avec le plan qui est parallèle à la surface de polissage est supérieur à 95 degrés et est inférieur à l'angle (α) formé avec la surface de polissage ; et la profondeur du point de pliage depuis la surface de polissage jusqu'au point de pliage entre la première surface latérale et la seconde surface latérale est supérieure à 0,2 mm et est de 3,0 mm ou moins.
Japanese[ja]
研磨パッドは、少なくとも研磨層を有する研磨パッドであって、前記研磨層は研磨面に側面を有する溝を備え、前記側面の少なくとも一方は、前記研磨面から連続し、前記研磨面とのなす角度がαである第1の側面、および該第1の側面から連続し、前記研磨面と平行な面とのなす角度がβである第2の側面から構成され、前記研磨面とのなす角度αは95度より大きく、前記研磨面と平行な面とのなす角度βは95度より大きく、かつ、前記研磨面と平行な面とのなす角度βが前記研磨面とのなす角度αよりも小さいものであり、前記研磨面から前記第1の側面と前記第2の側面の屈曲点までの屈曲点深さが0.2mmより大きく、3.0mm以下であることを特徴とする。