Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Disclosed is an etching fluid for electronic devices, comprising: a transition metal and/or a transition metal salt; and a hydrofluoric acid and/or a fluoride salt.
French[fr]
L'invention porte sur un fluide de gravure, pour des dispositifs électroniques, qui comporte : un métal de transition et/ou un sel de métal de transition, et un acide fluorhydrique et/ou un sel fluorure.
Korean[ko]
전자소자의 금속전극과 진성반도체층 사이에 배치된 도핑된 반도체층을 상기 진성반도체층에 대하여 선택적으로 식각하는 식각액으로서, 전이금속 및/또는 전이금속염; 및 불산 및/또는 불소를 포함하는 무기염;을 포함하는 식각액이 제시된다.