Metadata
Author: ParaCrawl Corpus
Data
English[en]
In this context, NEMS/CMOS mass sensors are used as positioning sensors for the in-situ alignment between the movable nanostencil and the substrate to be patterned.
Spanish[es]
De manera muy novedosa, el sensor de masa NEMS/CMOS se utiliza aquí como sensor de alineamiento entre la membrana nanostencil y el substrato a litografiar.