Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The chemically amplified positive photosensitive composition for an organic insulation film comprises a binder resin, wherein the binder resin includes a moiety with a cyclic acid-labile protective group, and a polymer or a copolymer including the moiety.
French[fr]
La composition de l'invention comprend une résine liante, la résine liante comprenant un fragment contenant un groupe cyclique protecteur acido-labile, et un polymère ou un copolymère contenant le fragment.
Korean[ko]
본 발명에 의하면, 종래와 달리, 고리구조의 산분해성 보호기와 새로 개발된 화학구조를 공중합체 형태로 구성함으로써, 감도를 현저히 높일 뿐만 아니라, 현상시에 미노광부의 막 감소를 현저히 줄일 수 있으며, 노광중 휘발증기의 발생을 현저히 감소시킬 수 있고, 디스플레이의 고해상도 구현이 가능하며, 고투과율을 유지할 수 있는 장점이 있다.