Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The chip transfer apparatus has a plurality of arm driving modules, and the controller controls the arm driving modules so that the arms thereof do not collide, enabling chip transfer speed and precision to be improved.
French[fr]
L'appareil de transfert de puce possède une pluralité de modules de pilotage de bras, et le dispositif de commande commande les modules de pilotage de bras de telle sorte que les bras de ceux-ci n'entrent pas en collision, permettant à la vitesse et à la précision de transfert de puce d'être améliorées.
Korean[ko]
본 발명에 따른 칩 이송 장치는, 회전축의 측면에 2개의 암이 서로 대칭되도록 장착되고, 상기 회전축을 회전시키거나 수직 이동시키는 암 구동모듈; 웨이퍼 프레임의 하부에 배치되고, 상기 암 구동모듈의 각 암에 대응하여 웨이퍼 프레임의 수직 위치 및 니들의 수평 위치를 조정하는 이젝터 모듈; 빈 프레임의 하부에 배치되고, 상기 암 구동모듈의 각 암에 대응하여 빈 프레임의 수직 위치를 조정하는 서브척 모듈; 상기 암 구동 모듈, 이젝터 모듈 및 서브척 모듈의 동작을 제어하는 제어부;를 구비한다.