Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The invention is applicable, in particular, to electron scanning tunnelling microscopy and/or spectroscopy, especially in ultrahigh vacuums, optic scanning tunnelling microscopy and/or spectroscopy, or to the engraving of nanometric structures using microlithographic optic and/or electronic processes.
French[fr]
Elle s'applique notamment à la microscopie et/ou la spectroscopie à effet tunnel électronique, notamment dans l'ultravide, à la microscopie et/ou la spectroscopie à effet tunnel optique, ou encore à la gravure de structures nanométriques par des procédés microlithographiques optiques et/ou électroniques.