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Author: WikiMatrix
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English[en]
Common source gases include silane and oxygen, dichlorosilane (SiCl2H2) and nitrous oxide (N2O), or tetraethylorthosilicate (TEOS; Si(OC2H5)4).
Spanish[es]
Los gases de origen más comunes incluyen silano y oxígeno, diclorosilano (SiCl2 H2 ) y óxido nitroso (N2O), o tetraetilortosilicato (TEOS; Si (OC2H5)4 ).