Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
[Solution] This cordierite sintered body has a major crystalline phase of cordierite and contains alumina, mullite, and sapphirine as a secondary crystalline phase, an amorphous phase containing Ca being present at the grain boundary.
French[fr]
Ce corps fritté à base de cordiérite présente une phase cristalline majeure de cordiérite et contient de l'alumine, de la mullite, et de la sapphirine comme phase cristalline secondaire, une phase amorphe contenant Ca étant présente à l'interface des grains.
Japanese[ja]
【課題】 熱膨張係数が小さく、かつ比剛性(=ヤング率/比重)および機械的強度の高いコージェライト質焼結体およびこのコージェライト質焼結体からなる半導体製造装置用部材を提供する。