Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The metrology targets include large targets (600a) which are for measuring overlay using X-ray scattering (metrology apparatus 104) and small targets (600b, 604) which are for measuring overlay by diffraction of visible radiation (metrology apparatus 102).
French[fr]
Les cibles de métrologie comprennent des cibles de grande dimension (600a) qui sont destinées à la mesure de la superposition ("overlay") par diffraction des rayons X (appareil de métrologie 104) et des cibles de petite dimension (600b, 604) qui sont destinées à la mesure de la superposition par diffraction du rayonnement visible (appareil de métrologie 102).