Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The present invention relates to a chemically amplified positive photosensitive composition for a highly sensitive organic dielectric layer, with excellent heat resistance, and a method for forming an organic dielectric layer using the same.
French[fr]
La présente invention concerne une composition photosensible positive chimiquement amplifiée pour couche diélectrique organique hautement sensible, présentant une excellente résistance à la chaleur, et un procédé pour former une couche diélectrique l'employant.
Korean[ko]
본 발명은 내열성이 우수한 화학증폭형 포지티브 감광형 고감도 유기절연막 조성물 및 이를 이용한 유기절연막의 형성방법에 관한 것으로서, 바인더수지를 포함하는 화학증폭형 포지티브 감광형 유기절연막 조성물에 있어서, 상기 바인더수지는 활성에너지선 내지는 열에 의한 가교성 관능기(cross-linking group)를 갖는 산분해성 보호기를 포함하는 단위체 또는 활성에너지선 내지는 열에 의한 가교성 관능기(cross-linking group)를 가지면서 산분해성 보호기를 포함하지 않는 단위체를 포함하여 이루어지며, 상기 단위체를 최소 1종 이상 함께 또는 따로 포함하는 것을 특징으로 한다.