Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Forming micro-probe tips for an atomic force microscope, a scanning tunneling microscope, a beam electron emission microscope, or for field emission, by first thinning a tip (11) of a first material, such as silicon.
French[fr]
On forme des pointes de microsondes destinées à un microscope à forces atomiques, un microscope par effet tunnel, un microscope à émission de faisceaux électroniques ou à émission de champ, en effilant d'abord une pointe (11) d'un premier matériau, tel que le silicium.