Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Additionally, the method prevents cracks on the single crystal thin film by releasing stress applied to a single crystal thin film for a compound.
French[fr]
De plus, le procédé évite des fissures sur le film mince monocristallin par relaxation des contraintes appliquées à un film mince monocristallin pour un composé.
Korean[ko]
이와 같은 본 발명을 제공하게 되면, 단결정 박막과 실리콘 기판 사이의 격자상수 부정합과 열팽창계수의 차이로 인해 발생되는 결정 결함(주로 전위 결함)을 감소시키고, 화합물 단결정 박막에 야기되는 응력을 해소하여 단결정 박막에 크랙이 발생되는 것을 방지하게 되어 고품위 단결정 화합물 단결정 박막을 제조할 수 있게 된다.