Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Hierfür wurde das Verfahren der Silicium-Mikrobearbeitung verwendet.
English[en]
They achieved this by means of silicon micro-machining technology.
Spanish[es]
Para ello recurrieron a tecnología de micromecanizado de silicio.
French[fr]
Ils ont pu les réaliser au moyen des technologies de micro-usinage du silicium.
Italian[it]
Hanno raggiunto questo obiettivo grazie alla tecnologia di microlavorazione del silicio.
Polish[pl]
Osiągnęli to poprzez zastosowanie technologii mikroobróbki krzemu.