Metadata
Author: patents-wipo
Data
German[de]
Die in situ-Beobachtungsmöglichkeit des Ätzvorganges ermöglicht eine exakte Kontrolle des Ätzstadiums, z. B. des Dünnungsgrades der Probe, in hoher Auflösung, und mit Hilfe einer Steuervorrichtung (19) kann der Dünnungsvorgang nach definierter Vorgabe automatisch beendet werden.
English[en]
The ability to observe the etching process $i(in situ) permits precise monitoring of the etching stage, e.g. the degree of thickness reduction of the sample, at high resolution and, with the aid of a control device (19), it is possible automatically to terminate the thinning process to precise instructions.
French[fr]
La possibilité d'observer $i(in situ) le processus de gravure permet un contrôle exact du stade de gravure, par exemple du degré d'amincissement de l'échantillon à haute résolution, cependant qu'au moyen d'un dispositif de contrôle (19), le processus d'amincissement peut être automatiquement terminé, conformément à des prescription définies.