Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Unter Einsatz der Nanolithografie als Grundtechnik wurde ein Rasterkraftmikroskop (Atomic Force Microscope, AFM) für die Bestimmung der Nanostruktur auf dem CMOS-Schaltkreis verwendet.
English[en]
Using the nanolithography technique as a base, an atomic force microscope (AFM) has now been used for the definition of the nanoscale structure on the CMOS circuit.
Spanish[es]
Con la técnica de la nanolitografía como base, se ha utilizado un microscopio de fuerza atómica (AFM) para definir la estructura a nanoescala sobre la circuitería CMOS.
French[fr]
À l'aide du principe de base de la nanolithographie, un microscope à force atomique (AFM) a été utilisé pour créer l'empreinte de la structure nanométrique sur le circuit CMOS.
Italian[it]
Utilizzando la tecnica di nanolitografia come base, attualmente è stato utilizzato un microscopio a forza atomica (AFM) per la definizione della struttura a scala nanometrica del circuito CMOS.
Polish[pl]
Korzystając z techniki nanolitografii jako podstawy, obecnie używana jest mikroskopia sił atomowych do zdefiniowania struktury w skali nano na układzie CMOS.