Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Die beiden verschiedenen Nanolithografieverfahren wurden verglichen, um ihre Vorteile und Einschränkungen in Bezug auf Dimensionsverringerung, Durchsatz und Kompatibilität mit CMOS zu ermitteln.
English[en]
The two different nanolithography processes were furthermore compared to evaluate their advantages and limitations in terms of dimension reduction, throughput and their compatibility with CMOS.
Spanish[es]
Estos dos procesos distintos de nanolitografía se compararon para evaluar sus ventajas y limitaciones por lo que respecta a reducción de dimensiones, rendimiento y compatibilidad con CMOS.
French[fr]
Les deux différents processus de nano-lithographie ont été comparés afin d'évaluer leurs avantages et limites en termes de réduction, capacité et de leur compatibilité avec le CMOS.
Italian[it]
I due diversi processi di nanolitografia sono stati confrontati ulteriormente per valutarne vantaggi e limiti in termini di riduzione delle dimensioni, produttività e compatibilità con i semiconduttori CMOS.
Polish[pl]
Te dwa różne procesy nanolitografii zostały następnie porównane, aby ocenić ich zalety i ograniczenia w zakresie redukcji wymiarów, przepustowości i zgodności z układami CMOS.