Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A technique for processing which does not depend on the material or the angle of incidence of an ion beam is provided.
French[fr]
Une technique de traitement qui ne dépend ni du matériau ni de l'angle d'incidence d'un faisceau ionique est décrite.
Japanese[ja]
本発明は、上記の問題点を鑑み、材料やイオンビーム照射角度に依存しない加工をする手法を提供することを目的としている。