Besonderhede van voorbeeld: -402287597786093258

English

For the 40 nm pitch vertical lines, an 18 nm nominal tip-to-tip drawn gap resulted in an actual tip-to-tip distance of 29 nm with OPC (optical proximity correction), while for 32 nm pitch horizontal lines, the tip-to-tip distance with a 14 nm nominal gap went to 31 nm with OPC.

Spanish

Para las líneas verticales de paso de 40 nm, una separación nominal de punta a punta nominal de 18 nm resultó en una distancia real de punta a punta de 29 nm con OPC (corrección de proximidad óptica), mientras que para líneas horizontales de 32 nm, la distancia de punta a punta con un espacio nominal de 14 nm fue de 31 nm con OPC. Estas distancias reales de punta a punta definen un límite inferior del medio paso del metal que corre en la dirección perpendicular a la punta.