Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Such diagnostics are useful for real-time spatially-resolved measurements of plasma electron temperature distributions and/or chemical species concentrations within a plasma processing chamber (50).
French[fr]
On utilise ce genre de diagnostics pour réaliser en temps réel des mesures à résolution spatiale des distributions des températures des électrons dans le plasma et/ou des concentrations d'espèces chimiques dans une chambre de traitement au plasma (50).