Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Daher wurden umfassende Untersuchung zur Erstellung von Resist-Verfahren durchgeführt, mit denen 157nm-Resist-Lösungen für 70nm-Nodes demonstriert werden konnten.
English[en]
Therefore, the manufacturability of resist processes was extensively investigated which allowed demonstrations of 157nm resist solutions for the 70nm node.
Spanish[es]
Por tanto, se investigó de forma exhaustiva la posibilidad de fabricar procesos de resistencia, lo cual permitió realizar demostraciones de soluciones con resistencia a radiaciones de 157nm para el nodo de 70nm.
French[fr]
Le projet a effectué une étude approfondie de la fabricabilité des processus de couche de protection, qui a permis de faire la démonstration de solutions de couche de protection de 157nm pour le noeud de 70nm.
Italian[it]
Pertanto è stata approfonditamente studiata la fattibilità dei processi di rivestimento, che ha consentito dimostrazioni di soluzioni di rivestimento a 157nm per il nodo da 70nm.