Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
In one embodiment, a metal material layer is deposited by applying a supercritical fluid, a dense fluid, or combinations thereof and a metal-containing precursor to the surface of a substrate inside a substrate processing chamber.
French[fr]
Dans un mode de réalisation, on dépose une couche de matériau métallique en appliquant un fluide hypercritique, un fluide dense ou des combinaisons de ceux-ci ainsi qu'un précurseur contenant un métal sur la surface d'un support placé à l'intérieur d'une chambre de traitement de support.