Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Some of the system-specific effects included in the simulation are: a flare effect due to reflection from black border of a mask, a flare effect due to reflection from one or more reticle-masking blades defining an exposure slit, a flare effect due to overscan, a flare effect due reflections from a gas-lock sub-aperture of a dynamic gas lock (DGL) mechanism, and a flare effect due to contribution from neighboring exposure fields.
French[fr]
Certains des effets spécifiques au système inclus dans la simulation sont : un effet de lumière parasite dû à la réflexion depuis la bordure noire d'un masque, un effet de lumière parasite dû à la réflexion depuis une ou plusieurs lame(s) de masquage de réticule définissant une fente d'exposition, un effet de lumière parasite dû à un balayage excessif, un effet de lumière parasite dû aux réflexions depuis une sous-ouverture de verrou à gaz d'un mécanisme de verrou à gaz dynamique (DGL), et un effet de lumière parasite dû à la contribution de champs d'exposition voisins.