Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
[Problem] To provide: a Zn-polarity high-carrier-density n-type ZnO thin film that has excellent heat resistance and electrical properties and that can be produced using a simple method without requiring a complicated procedure as exemplified by insertion of a buffer layer or a polarity surface inversion layer as in the prior art; and a method for manufacturing the high-carrier-density n-type ZnO thin film.
French[fr]
L'invention a pour but de fournir : un film mince ZnO de type n, à densité de porteurs élevée, à polarité Zn, qui possède d'excellentes caractéristiques en termes de résistance thermique et de propriétés électriques et qui peut être fabriqué en utilisant un procédé simple qui ne nécessite pas de processus compliqué, comme par exemple l'insertion d'une couche tampon ou d'une couche d'inversion de surface de polarité, comme dans l'état antérieur de la technique; un procédé de fabrication du film mince ZnO de type n, à densité de porteurs élevée.
Japanese[ja]
(課題)耐熱性及び電気特性に優れ、従来技術であるバッファ層あるいは極性面反転層挿入を例とする煩雑な製法を必要とせずに簡易な方法で作製することができるZn極性高キャリア密度n型ZnO薄膜及びその製造方法を提供する。