Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Production method for a polysilicon mask using a metal catalyst, and a production method for semiconductor elements using the same
French[fr]
Procédé de fabrication d'un masque en polysilicium au moyen d'un catalyseur métallique et procédé de fabrication d'éléments à semi-conducteurs au moyen de ce masque
Korean[ko]
금속 촉매를 이용한 폴리 실리콘 마스크의 제조방법 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조방법