Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Provided is a wire substrate with a carbon film having a large effective electron beam irradiation angle.
French[fr]
L’invention concerne un substrat en fil doté d’un film de carbone possédant un large angle effectif d’irradiation par faisceau d’électrons.
Japanese[ja]
有効電子線照射角度が大きい炭素膜つきワイヤ型基板を提供すること。