Metadata
Author: WikiMatrix
Data
English[en]
The drawbacks are explosion hazard and high sensitivity of the deposition rate and morphology to the process parameters, such as mixing ratio, substrate temperature, etc. Therefore, silane is commonly used to create a thin tungsten nucleation layer.
Spanish[es]
Los inconvenientes son peligro de explosión y la alta sensibilidad de la tasa de deposición y la morfología de los parámetros del proceso, tales como proporción de la mezcla, la temperatura del sustrato, etc. Por lo tanto, silano que comúnmente se utilizan para crear una capa de tungsteno nucleación delgada.