Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
In the first method a stepper-scanner apparatus modified to expose most of a resist layer defines the interconnect circuitry, but is shuttered-off over the discretionary interconnect changes.
French[fr]
Dans le premier procédé, un appareil analyseur pas-à-pas modifié de manière à sensibiliser la plupart d'une couche de résist délimite les circuits d'interconnexion mais est obturé au niveau des modifications sélectives d'interconnexion.