Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
In such a system, when the EUV/VUV light source is activated ions of the low-pressure gas are formed and directed to the object.
French[fr]
Dans ce système, lorsque la source de lumière EUV/VUV est activée, des ions du gaz basse pression sont formés et dirigés sur l'objet.